产品特点：

·较低的电噪声

·位移过程的高稳定性

·可进行亚微米级单位位移也可进行粗定位

·3轴电动控制行程1英寸（25mm）

·第4个球形轴结构供微电极在X，Y，Z轴心点按任意角度移动

·可设置适当速度和单位位移

·可程序化的记录错综纷杂的位置序列

·可使微电极以微米级单位在轴向连续移动

·可在连续移动或步进式移动间切换

·绝对起点与相对起点的选择

·可使微电极回到Home位置（绝对原点X0，Y0，Z0）以便更换

·轴向任意调节

·可读真空荧光显示屏

·RS-232串联接口可与电脑相接进行远程控制

·紧凑型设置面板的合理设置

·通用支架系统帮助固定夹持器和微电极

·支架可选

技术参数：

行  程：3轴电动控制行程1英寸（25mm）

单位位移：******单位位移0.2μm/step

          最小单位位移0.04μm/step

******速率：2.9mm/s

传动误差：小于10nm/h（24℃下）

传动装置：涡轮传动

串联接口：RS-232 9600baud

尺  寸

主  机：4.5×6×6.25（in）11×15×16（cm）

控制器：16×10.75×3.75（in）40.6×27.3×9.6（cm）

重  量

主  机：3.85lbs/1.7kg

控制器：10lbs/4.5kg

电源电压：115/230V  50/60Hz

两种输入设备可选：

ROE（Rotary Optical Encoder）-连续或按相应单位位移旋转3个φ2in（英寸）圆形旋钮（分别控制X，Y，Z轴方向上的位移）中的一个即可获得该轴上的相应位移。按钮则控制第四个球形轴结构移动，单位位移量，回到绝对原点和连续/步进式移动的切换。

操纵杆-一个改进后的三轴控制器，所扳手柄角度偏差则决定了微电极在各轴上面的移动速度即单位位移。在脉冲模式（步进式位移）单位位移已设定的情况下，按一下按钮则控制微电极在相应轴上走一步。